Ходовые вакуумметры. Часть 3. Манометры ионизационные
Как мы уже знаем, для работы с (самодельными) электровакуумными и ионными приборами желательно иметь откачной пост, умеющий создавать высокий вакуум — снижать давление в обрабатываемом приборе от атмосферного (~ 760 мм рт. ст.), до остаточного, не выше 10-5 мм рт. ст. (Торр). Как не существует сравнительно простого (удобного, доступного, недорогого) насоса, перекрывающего такой огромный диапазон, также нет и простых вакуумметров «атмосфера — высокий вакуум». Обычная практика в таких случаях — разделение откачки на предварительную (форвакуум) и высоковакуумную ступень, где действуют разные принципы течения газа, способы его удаления и измерения давления. Рассмотренные нами манометры барометрические [1] и тепловые (Пирани [2], термопарные [3]), работают в области высоких (близких к атмосферному) и средних давлений — до 10-3…10-4 Торр, давления же в области высокого вакуума, обычно измеряются ионизационным манометром, составляющим традиционную пару с тепловым. Рассмотрим же такой манометр ионизационного типа — принцип действия его преобразователя, варианты ходовые, исторические, заводские, интересные. Схемы включения, особенности работы, измерительные блоки. Как всегда, с прицелом на любительскую электровакуумную лабораторию-мастерскую и вдумчивую ручную работу. Читать далее